Deutsche Zukunftspreis für optische Lithographie

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Bundespräsident Frank-Walter Steinmeier verlieh am 25. November  den Deutschen Zukunftspreis 2020 für herausragende Innovationskraft in Deutschland.

EUV-Lithographie – neues Licht für das digitale Zeitalter

Die beim Zukunftspreis vorgestellten Projekte belegen, welch herausragende Innovationskraft in Deutschland steckt, so der Bundespräsident vor der Preisverleihung. „Im vergangenen Jahr haben Staat und Unternehmen so viel Geld wie noch nie in Forschung und Entwicklung investiert: insgesamt 110 Milliarden Euro. In der rasanten Impfstoffentwicklung gegen das Coronavirus sind auch mehrere deutsche Unternehmen in der ersten Liga vertreten. Sie lassen uns und die Welt im Kampf gegen die Pandemie hoffen. Auf diese Leistungen in Forschung und Entwicklung können wir sehr stolz sein. Gleichzeitig müssen Wirtschaft und Staat weiter darin investieren, Deutschland als leistungs- und wettbewerbsfähigen Forschungs- und Industriestandort zu stärken, z.B. in der Medizin- und Biotechnologie, der Pharmaforschung und der Entwicklung besserer Technologien für den Klimaschutz“, beschreibt Steinmeier die Innovationskraft in Deutschland.“

Die Gewinner: (v.l.n.r.) Dr. rer. nat. Peter Kürz, Vice President Geschäftsbereich EUV High-NA bei ZEISS Semiconductor Manufacturing Technology in Oberkochen; Dr. rer. nat. Michael Kösters,Gruppenleiter bei TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing in Ditzingen, Dr. rer. nat. Sergiy Yulin, Senior Principal Scientist am Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF in Jena. (Bild: Deutsche Zukunftspreis/zdf)

Bei der Preisverleihung am Abend überreichte der Bundespräsident den Entwicklern Dr. rer. nat. Peter Kürz, Dr. rer. nat. Michael Kösters und Dr. rer. nat. Sergiy Yulin den mit 250.000 Euro dotierten Zukunftspreis 2020. Das Team hat einen wesentlichen Beitrag zur Entwicklung einer Technologie geleistet, mit der sich mikroelektronische Bauteile mit äußerst feinen Strukturen fertigen lassen, so die Beschreibung des Siegerprojektes. Durch die Nutzung von Licht im extremen Ultraviolett (EUV) haben die Wissenschaftler die in der Chipfertigung etablierte Methode der optischen Lithographie auf eine neue Stufe gebracht. Entstanden ist ein optisches System aus Spiegeln mit einer besonderen Beschichtung. Ein weiterer Bestandteil ist der derzeit stärkste industrielle CO2–Laser, mit dem das Plasma für die EUV-Strahlung erzeugt wird.

Auf diese Weise lassen sich Mikrochips herstellen, die besonders leistungsfähig, energieeffizient und kostengünstig sind. Die Mikrochips dieser neuen Generation werden von den führenden Herstellern von Smartphones und Halbleiterprodukten bereits eingesetzt. Es ist absehbar, dass sich ihre Anwendung in den Bereichen der Informationstechnik als Standard etablieren wird.

Der Bundespräsident würdigt mit dem Deutschen Zukunftspreis herausragende Forschungs- und Entwicklungsprojekte. Wesentlich für die Entscheidung der Jury sind der wissenschaftlich-technische Innovationsgrad sowie das Potenzial, diese Leistung in zukunftsfähige Arbeitsplätze umzusetzen.

Nominierte Forschungen

Ebenfalls für den Deutschen Zukunftspreis 2020 nominiert waren:
Prof. Dr. med. Andreas Raabe, Inselspital Bern, Universitätsklinik für Neurochirurgie, Bern, Schweiz, Dr.-Ing. Michelangelo Masini und Frank Seitzinger, MBA, Carl Zeiss Meditec AG, Oberkochen, für ihr „Robotisches Visualisierungssystem – Effizienz für die Mikrochirurgie“ sowie Dipl.-Ing Friedbert Scharfe, Franken Maxit Mauermörtel GmbH & Co., Kasendorf, Prof. Dr.-Ing. Thorsten Gerdes, Universität Bayreuth, Keylab Glastechnologie, Bayreuth, und Dr. rer. nat. Klaus Hintzer, Dyneon GmbH, Burgkirchen, mit ihrem Projekt „Spritzbare Fassadendämmung mit Glass Bubbles – nachhaltige, energieeffiziente Isolation von Gebäuden“. Sie wurden von Bundespräsident Frank-Walter Steinmeier mit einer Urkunde geehrt und durch die Jury in den „Kreis der Besten“ des Deutschen Zukunftspreises aufgenommen.

www.deutscher-zukunftspreis.de


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